SiH4

Capacité

Soupape

Poids

47L

DISS632

12KG

440L

DISS632

120KG

CO

≤ 0,05 ppm

CO₂

≤ 0,05 ppm

Cl totale

≤ 0,1 ppm

CH₄

≤ 0,05 ppm

C2-C4

≤ 0,1 ppm

N₂

≤ 0,5 ppm

O₂

≤ 0,05 ppm

Humidité

≤ 0,1 ppm

Éther silylique

≤ 0,1 ppm

Méthylsilane

≤ 0,1 ppm

Disilane

≤ 0,3 ppm

H₂

≤ 20 ppm

Al

≤ 0,02 ppba

Sb

≤ 0,02 ppba

Comme

≤ 0,02 ppba

Géorgie

≤ 0,02 ppba

B

≤ 0,02 ppba

P

≤ 0,02 ppba

Fe+Cr+Ni+Cu+Zn

≤ 1 ppba